离子刻蚀机是一种用于微电子制造领域的关键设备,主要用于刻蚀硅片表面的微小缺陷。随着使用时间的增加,离子刻蚀机的性能和效率都会受到影响,因此预测其剩余寿命非常重要。本文将介绍离子刻蚀机的工作原理、影响因...